钨灯丝扫描电子显微镜
钨灯丝扫描电子显微镜
联系人
房俊卓
生产厂家
德国卡尔蔡司
邮箱
fj_zhuo@163.com
型号
ZEISS EVO18
电话
13139514583
购买日期
2017/05/31
主要规格和技术参数
主要参数:  光学系统  1.1、光源:钨灯丝。预对中式灯丝,灯丝具有自动加热、自动对中功能。 1.2、聚焦:具有手动及自动聚焦功能。  1.3、光阑:三级可调物镜光阑。  1.4、加速电压:200V-30kV,10V步进连续可调。 1.5、图像电平移:±50µm。  1.6、放大倍数:5×~1000,000×,连续可调。  1.7、分辨率:高真空二次电子像<3.0nm(30kV);低真空背散射电子像<4.0nm(30kV)。  1.8、探针电流范围:0.5 pA~5 μA,连续可调。 1.9、聚焦工作距离:2mm~145mm。  1.10、电子束气体路径长度:<2mm。   2、真空系统  2.1、真空泵系统:涡轮分子泵+机械泵,不需要冷却水。 2.2、真空度:最高真空度:优于0.1mPa;  低真空压力范围:10Pa~400Pa。  2.3、在低真空条件下,保持8.5的工作距离,并且可以做能谱分析。   3、样品系统  3.1、样品室内部尺寸:φ365mm×275mm。  3.2  可放置的最大样品尺寸:直径250mm,高度145mm  3.3、最大允许样品重量:不小于5kg 3.4、样品台移动方式:五轴马达驱动。 3.5、样品台移动范围:X 125mm, Y 125mm, Z 50mm,0°~+90°倾斜,360°旋转 。 3.6、样品台移动精度:重复性<2 μm;最小步长90nm;漂移<40nm/6min。 3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。 3.8、具备样品位置感知功能。 4、 探测器系统 4.1、具备高真空二次电子探测器。 4.2、具备低真空二次电子探测器。(选配) 4.3、具备背散射电子探测器。 4.4、具备X射线能谱仪接口。 4.5、探测器成像模式:同时对二次电子和背散射电子成像,并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。 4.6、扫描方式:全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。 4.7、整机系统控制要求独立控制单元,为检修提供方便。 图像解析度: 3072x 2304 扫描点阵 操作系统: WindowsXP 以及简单友好的SmartSEM扫描电镜操作控制软件 显示器:19" TFT 5、牛津电制冷X射线能谱仪Inca X-Act 5.1、探测器制冷方式:电制冷型。 5.2、探测器:硅漂移探头。 5.3、有效探测面积: 10mm2。 5.3、20,000cps时的能量辨率:Mn Ka:≤129eV F Ka:≤66eV C Ka:≤56eV 5.4、元素探测范围:Be(4)~Pu(94) 5.5、最大输入计数:>750,000cps
主要功能及特色
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。 在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
主要附件及配置
能谱仪(EDS)