主要规格及技术指标
1.单色化 X 光源 ；
2.最大功率：600W；
3.高灵敏度，高能量分辨；
4.大束斑高性能XPS分析；
5.小束斑选区分析；
6.快速平行成像：空间分辨优于1um；
7.从超薄到超厚的深度分析。
主要功能及特色
1.分析内容包括表面元素组成及化学价态定性定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等；
2.配备有高温高压催化反应池用于原位反应测试，最高温度1000℃，最高压力30bar，在线质谱监测；
3.导电性良好的材料可测试紫外光电子能谱(UPS)；
4.微束VI离子枪用于清洁样品表面和深度剖析。
主要附件及配置
无
