主要规格及技术指标

1. 离子源：0.8-10KV离子束，密度10mA/cm2，半宽度0.8mm-2.5mm，离子枪两把，电流＜3.5mA；2. 工作气体：高纯氩气；3. 样品台旋转转速0.6-10rpm；平面摆动角度＜360°，步径1°；垂直摆动距离 ± 5mm，精度0.1mm；4. TEM样品单面或双面低角度（最小4°）离子减薄；5. 19英寸触摸屏操作界面。

主要功能及特色

可对透射电镜样品进行离子减薄，也可对扫描电镜样品进行离子束抛光，以去除机械抛光的表面应力涂抹层，获得真实且平整的样品内部信息，以适合于扫描电镜观察、原位元素分析及EBSD分析。还可对扫描电镜样品进行离子束刻蚀，对多层、多孔等复合材料海龙可以进行斜坡切割，便于分析内部结构；对薄膜材料可离子束切割，获得平整截面。

主要附件及配置

真空泵